A Study on Sapphire Wafer Scribing Using Picosecond Pulse LASER

피코초 펄스 레이저를 이용한 사파이어 웨이퍼 스크라이빙에 관한 연구

  • 문재원 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 김도훈 (연세대학교 금속공학과)
  • Published : 2005.06.10