한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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Pages.254-254
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2005

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

CeO$_2$ 완충층을 이용한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 식각 정지 특성

Etch Stop Characteristics of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Film by Using $CeO_2$ Buffer Layer

권영석 (고려대학교) ;
심선일 (고려대학교) ;
김용태 (한국과학기술연구원) ;
최인훈 (고려대학교)

발행 : 2005.05.26

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