Dependency of SOI & BOX Thickness on trap density of SOI wafers n Pseudo MOS Transistor

SOI wafer Pseudo MOS Transistor에서의 SOI 및 BOX Thickness에 따른 trap density의 종속성

  • 손주환 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 민병호 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 권종성 (한양대학교 NANO SOI 공정연구소) ;
  • 박재근 (한양대학교 NANO SOI 공정연구소)
  • Published : 2005.05.26