한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2005년도 추계학술발표회 및 workshop
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- Pages.177-177
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- 2005
평관형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
Characteristics of Inductively Coupled Plasma Source with a Multiple U-Type Internal Antenna for Flat Panel Display Applications
- 발행 : 2005.11.04