한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 $CrB_2$ 박막의 제조

$CrB_2$ coatings deposited by inductively coupled plasma - assisted DC magnetron sputtering

  • 최효석 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이기락 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 박보환 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 김훈 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이정중 (서울대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.11.04
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드