한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2005년도 추계학술발표회 및 workshop
- /
- Pages.116-116
- /
- 2005
유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 $CrB_2$ 박막의 제조
$CrB_2$ coatings deposited by inductively coupled plasma - assisted DC magnetron sputtering
- 발행 : 2005.11.04