ICP 스퍼터링으로 제조한 초경 TaN 박막에 관한 연구

Superhard TaN films using ICP sputtering

  • 이기락 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 김훈 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 최효석 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이정중 (서울대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.11.04