한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

ICP 스퍼터링으로 제조한 초경 TaN 박막에 관한 연구

Superhard TaN films using ICP sputtering

  • 이기락 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 김훈 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 최효석 (서울대학교 재료공학과) ;
  • 이정중 (서울대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.11.04
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