Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2005.08a
/
Pages.158-158
/
2005

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Frequency dependence of electron energy distribution function and plasma parameters in capacitively coupled argon discharge

안승규 (한국과학기술원 물리학과 저온플라즈마 실험실) ;
유신재 (한국과학기술원 물리학과 저온플라즈마 실험실) ;
장홍영 (한국과학기술원 물리학과 저온플라즈마 실험실)

Published : 2005.08.18

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords