저유전상수값을 갖는 플라즈마 폴리머 박막의 헬륨 플라즈마 처리에 대한 특성 연구

• 이성우 (성균관대학교 물리학과) ;
• 양재성 (성균관대학교 물리학과) ;
• 정동근 (성균관대학교 물리학과) ;
• 채희엽 (성균관대학교 화학공학과)

• Lee, Seong-U ;
• Yang, Jae-Seong ;
• Jeong, Dong-Geun ;
• Chae, Hui-Yeop

• 발행 : 2005.08.18

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