RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 bismuth telluride 열전박막의 제조

  • 김동호 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 재료기술연구소 표면기술연구센터) ;
  • 조성래 (울산대학교 물리학과)
  • 발행 : 2005.08.18