DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구

• 최은석 (한국생산기술연구원) ;
• 송영식 (한국생산기술연구원) ;
• 조용기 (한국생산기술연구원) ;
• 문경일 (한국생산기술연구원) ;
• 김종렬 (한양대학교 금속재료공학과)

• Choe, Eun-Seok ;
• Song, Yeong-Sik ;
• Jo, Yong-Gi ;
• Mun, Gyeong-Il ;
• Kim, Jong-Ryeol

• 발행 : 2005.02.15

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