DC reactive sputtering 방식으로 Ti 버퍼층 위에 형성 시킨 TiN 박막의 특성 변화에 관한 연구

• 송영식 (한국생산기술연구원 생산기반기술본부) ;
• 최은석 (한국생산기술연구원 생산기반기술본부) ;
• 김상권 (한국생산기술연구원 생산기반기술본부) ;
• 김성완 (한국생산기술연구원 생산기반기술본부) ;
• 김종렬 (한양대학교 금속재료공학과)

• Song, Yeong-Sik ;
• Choe, Eun-Seok ;
• Kim, Sang-Gwon ;
• Kim, Seong-Wan ;
• Kim, Jong-Ryeol

• 발행 : 2005.02.15

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