한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)
- 한국소음진동공학회 2005년도 춘계학술대회논문집
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- Pages.555-558
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- 2005
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- 1598-2548(pISSN)
3 축 나노 스테이지 동특성 해석 및 개선
Analysis and Improvement of Dynamics Characteristic of 3-axis Nano Stage
- 김충 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
- 이강녕 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
- 이동주 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
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이문구
(삼성전자 메카트로닉스 센터) ;
- 최형길 (삼성전자 메카트로닉스 센터) ;
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이석원
(삼성전자 메카트로닉스 센터) ;
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박노철
(연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
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박영필
(연세대학교 기계공학과)
- Kim, Choong ;
- Lee, Kang-Nyung ;
- Lee, Dong-Ju ;
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Lee, Moon-Gu
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- Choi, Hyoung-Gil ;
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Lee, Suk-Won
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Park, No-Cheol
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Park, Young-Pil
- 발행 : 2005.05.01
초록
The precision positioning system requires robust design to obtain enough bandwidth. Therefore, The sub-resonance occurred by the disaccord of force center and mass center should be oppressed. And it is necessary to move the flexible mode to a higher frequency. In this paper, the 3-axis nano stage was proposed and dynamic characteristics was improved by design of experiments (DOE).