한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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- Pages.550-551
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- 2005
고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $O_2$ 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
Development of Global Simulator of $O_2$ Discharge in High Density Transformer Coupled Plasma Source
- Kim, Hyung-Yong (Chungbuk National University) ;
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Yoon, Nam-Sik
(Chungbuk National University) ;
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Kwon, Deuk-Chul
(Chungbuk National University) ;
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Kim, Jeong-Hyung
(Korea Research Insitute of Standards and Science) ;
- Jeong, Kwang-Hwa (Korea Research Insitute of Standards and Science) ;
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Sin, Yong-Hyun
(Korea Research Insitute of Standards and Science)
- 발행 : 2005.07.07
초록
고밀도 유도결합 플라즈마 장치의