Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2005.07a
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- Pages.393-394
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- 2005
Orientation and Ferroelectric Properties of SBN60 Thin Films Prepared by Ion Beam Sputtering
IBS법으로 제조된 SBN60박막의 배향도 및 강유전특성
- Jeong, Seong-Won (Yeungnam University) ;
- Lee, Hee-Young (Yeungnam University) ;
- Kim, Jeong-Joo (Kyungpook National University) ;
- Cho, Sang-Hee (Kyungpook National University)
- Published : 2005.07.07
Abstract
SBN25 박막을 씨앗층으로 사용하여 이온빔으로 증착한 SBN60/SBN25 다층박막에 대하여 결정화 및 배향 특성을 고찰하였다. 기판은 Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100) 웨이퍼 (Pt 두께 200nm)를 사용하였으며, 약 3000