한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
- /
- Pages.176-177
- /
- 2005
Nd:YAG 레이저를 이용한 PDMS의 직접식각에 대한 연구
A study on Direct Etching of PDMS using Q-switched Nd:YAG Laser
- Song, Hyub-Seung (School of Electrical Engineering, Inha University) ;
- Shin, Sung-Kwon (School of Electrical Engineering, Inha University) ;
-
Lee, Cheon
(School of Electrical Engineering, Inha University)
- 발행 : 2005.07.07
초록
PDMS는 생명공학 분야에서 중요한 기술적 폴리머이다. Nd:YAG레이저의 4고조파 (