한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
- /
- Pages.87-88
- /
- 2005
교류 전압에 의한 AAO 나노 구조 성장 제어
AC based AAO NanoStructure Growth Control
- 박소정 (고려대학교 전기공학과 나노소자연구실) ;
- 허정환 (고려대학교 전기공학과 나노소자연구실) ;
- 이성민 (고려대학교 전기공학과 나노소자연구실) ;
- 이강호 (고려대학교 전기공학과 나노소자연구실) ;
- 김규태 (고려대학교 전기공학과 나노소자연구실) ;
- 박성찬 (고려대학교 화공생명공학과 표면나노연구실) ;
- 하정숙 (고려대학교 화공생명공학과 표면나노연구실)
- Park, So-Jeong (Korea Univ. Nano Device Lab.) ;
- Huh, Jung-Hwan (Korea Univ. Nano Device Lab.) ;
- Yee, Seong-Min (Korea Univ. Nano Device Lab.) ;
- Lee, Kang-Ho (Korea Univ. Nano Device Lab.) ;
- Kim, Gyu-Tae (Korea Univ. Nano Device Lab.) ;
- Park, Sung-Chan (Korea Univ. Surface Nano Lab.) ;
- Ha, Jeong-Sook (Korea Univ. Surface Nano Lab.)
- 발행 : 2005.07.07
초록
AAO(Anodic Aluminum Oxide)는 양극산화 방법을 이용하여 얻을 수 있는 알루미늄의 다공성 산화막이다. 기존의 방법에서는 DC전압을 이용하여 AAO를 성장시켰는데 본 연구에서는 AC전압을 이용하여 AAO의 성장 특성을 제어하였다. 전압원으로 DAQ를 사용하였는데 출력전압을 증폭하기 위하여 2 단 차동증폭기를 제작하였다. 실험 결과는 AAO 기판의 SEM 사진을 촬영, 분석함으로써 얻을 수 있었다. SEM 시진을 분석한 결과 pore size는 전압의 변화에 큰 영향을 받지 않음을 알 수 있었던 반면 성장 길이는 AC전압의 주기가 증가함에 따라 길어지는 성향을 확인할 수 있었다. 또한 주기와 AAO 성장 길이와의 관계를 로그스케일 그래프로 나타내보면 선형적인 특성을 나타내었다. 이를 통해 인가한 전압의 주파수에 따라 AAO의 성장 길이를 예측할 수 있었다.