한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference)

한국자원리싸이클링학회 (The Korean Institute of Resources Recycling)
권호 표지

폐실리콘 슬러지로부터 실리콘 분말의 분리 회수

Separation and Recovery of Silicon Powder from Waste Silcon Sludge

  • 장희동 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장한권 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 서용재 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 김병규 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 홍승휘 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장원철 (㈜풍남반도체테크 부설연구소)
  • Jang, Hee-Dong (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Chang, Han-Kwon (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Suh, Yong-Jae (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Kim, Byoung-Gyu (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Hong, Seung-Hui (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Chang, Won-Chul (Institute for Research & Technology, Pungnam Semiconductor Technology Co.)
  • 발행 : 2005.05.19
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초록

실리콘 잉곳의 절단공정에서 발생하는 폐실리콘 슬러지는 실리콘과 실리콘카바이드 등의 유가자원이 함유되어 있는데, 본 연구에서는 폐실리콘 슬러지 중의 실리콘 분말을 효과적으로 분리, 회수하는 방법에 대해 검토하였다. 폐실리콘 슬러지는 상당량의 절삭유와 소량의 철분말이 포함되어 있는데 절삭유는 유기 용매에 용해시켜 효과적으로 분리하였고, 철분말은 자력선별에 의해 제거하였다. 절삭유와 철성분이 제거된 잔사인 실리콘과 실리콘 카바이드의 혼합 분말로부터 초음파 분산 선별법을 사용하여 실리콘 분말을 효율적으로 분리회수 하였다.

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