Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Depending on Polishing Conditions of GaAs/Si3N4/SiO2/Si Wafers to Compare with Bonding Forces

연마 조건에 따른 GaAs/Si$_3$N$_4$/SiO$_2$/Si 웨이퍼의 접합력 비교

  • 박종국 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 김선호 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 박진우 (고려대학교 전자컴퓨터공학부) ;
  • 변영태 (한국과학기술연구원 광기술연구센터)
  • Published : 2005.07.14
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Abstract

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