Low-coherence Interferometry using Femtosecond Lasers for Surface Profilometry

펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 저결맞음 간섭계

  • 오정석 (한국과학기술원, 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원, 기계공학과)
  • Published : 2005.02.17