한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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- Pages.295-296
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- 2005
TFT응용을 위한 TEOS/$O_2$ 를 이용한 APCVD 방법의 $SiO_2$ 박막증착
[ $SiO_2$ ] Film deposited by APCVD using TEOS/$O_2$ for TFT application
- Kim, Jun-Sik (Sungkyunkwan University) ;
- Hwang, Sung-Hyun (Sungkyunkwan University) ;
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Yi, Jun-Sin
(Sungkyunkwan University)
- 발행 : 2005.11.10
초록
Poly-Silicon Thin Film Transistor 응용을 위한