대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

모놀리식 전력용 IC에서 다수의 항복 전압을 가지는 RESURF LDMOST의 구현

The realization of RESURF LDMOSTs with different breakdown voltages in a monolithic power IC

  • 이세경 (아주대학교 전자공학과) ;
  • 최연익 (아주대학교 전자공학과)
  • 발행 : 2005.11.04
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초록

전력용 IC에서 높은 항복전압의 구현을 위해서 RESURF구조가 많이 사용되고 있다. 하지만 하나의 칩 위에서 다양한 항복전압을 가지는 소자를 구현하기 위해서는 에피층의 농도가 각각 달라져야하는데 이는 공정상의 복잡함과 비용의 문제를 수반하게 된다. 이런 문제점에 따라 본 연구에서는 전력용 IC에서 항복전압이 다른 다수의 LDMOST를 추가 공정없이 에피 영역의 길이를 조절하여 구현할 수 있음을 해석적인 방볍과 2차원 소자 시뮬레이터를 이용하여 확인하였다.

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