한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
- 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
- /
- Pages.73-77
- /
- 2005
PRAM 소자를 위한 GST의 결정화 및 HRTEM분석
초록
고분해능 투과전자현미경을 이용하여 PRAM소자의 상변화물질인
키워드
고분해능 투과전자현미경을 이용하여 PRAM소자의 상변화물질인