한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2005년도 춘계학술대회
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- Pages.196-200
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- 2005
저온 공정에 의한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 제조 및 동작특성 분석
Process and Performance Analysis of a-Si:H/c-Si Hetero-junction Solar Sells Prepared by Low Temperature Processes
- 임충현 (한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터) ;
-
이정철
(한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터) ;
- 전상원 (한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터) ;
- 김상균 (한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터) ;
-
김석기
(한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터) ;
- 김동섭 (세종대학교) ;
- 양수미 ;
- 강희복 ;
- 이보영 ;
-
송진수
(한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터) ;
-
윤경훈
(한국에너지기술 연구원 태양전지 연구센터)
- Lim, Chung-Hyun ;
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Lee, Jeong-Chul
;
- Jeon, Sang-Won ;
- Kim, Sang-Kyun ;
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Kim, Seok-Ki
;
- Kim, Dong-Seop ;
- Yang-Sumi (LG Siltron) ;
- Kang-Hee-Bok (LG Siltron) ;
- Lee, Bo-young (LG Siltron) ;
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Song-Jinsoo
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Yoon-Kyung-Hoon
- 발행 : 2005.06.01
초록
In this work, we investigated simple Aㅣ/TCO/a-Si:H(n)/c-Si(p)/Al hetero-junction solar cells prepared by low temperature processes, unlike conventional thermal diffused c-Si solar cells. a-Si:H/c-Si hetero-junction solar cells are processed by low temperature deposition of n-type hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) films by plasma-enhanced chemical vapor deposition on textured and flat p-type silicon substrate. A detailed investigation was carried out to acquire optimization and compatibility of amorphous layer, TCO (ZnO:Al) layer depositions by changing the plasma process parameters. As front TCO and back contact, ZnO:Al and AI were deposited by rf magnetron sputtering and e-beam evaporation, respectively. The photovoltaic conversion efficiency under AMI.5 and the quantum efficiency on