대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.2034-2036
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- 2005
반도체 웨이퍼 면저항 측정기의 설계제작
A Design and Manufacture on Sheet Resistance Measure Instrument of Semiconductor Wafers
- Kang, Jeon-Hong (KRISS) ;
- Kim, Han-Jun (KRISS) ;
- Han, Sang-Ok (ChungNam Univ.) ;
- Kim, Jong-Suk (HanBat Univ.) ;
- Ryu, Je-Cheon (KMC)
- 발행 : 2005.07.18