The study of beam characteristics for Ga LMIS and In LMIS

갈륨액체금속 이온원과 인듐액체금속 이온원의 빔 특성에 대한 연구

  • 현정우 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
  • 이종항 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
  • 강승언 (광운대학교 전자물리학과)
  • Published : 2005.05.01

Abstract

본 연구에서는 인듐 액체금속이온원을 제작하여 빔 특성에 대해 연구를 하였으며, 기존의 연구를 하였던 갈륨 액체금속 이온원의 빔특성과 비교분석 하였다. 빔특성 분석을 위해 빔 안정도, 전류-전압특성곡선, 에너지 퍼짐을 측정하였다. 액체금속이온원에 사용되는 액체금속 저장소 및 바늘전극(tip)은 $500{\mu}m$의 직경을 갖는 텅스텐을 사용하였으며, 국내에서 제작된 제품을 사용하였다. 액체금속 저장소의 구조는 이전에 구상하여 연구가 이루어진 6개의 pre-etching된 텅스텐와이어(wire)가 묶여진 형태를 사용하였다.

Keywords