Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference (한국공작기계학회:학술대회논문집)

The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers (한국생산제조학회)
권호 표지

Fabrication technology for miniaturization of the spin-valve transistor

스핀 밸브 트랜지스터의 소형화 공정 기술

  • 김성동 (서울산업대학교 기계설계 자동화공학부) ;
  • 맹희영 (서울산업대 기계설계 자동화공학부)
  • Published : 2005.05.01
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Abstract

스핀 밸스 트랜지스터를 소형화 할 수 있는 공정 기술을 소개한다. 스핀 밸브 트랜지스터는 두 개의 실리콘 에미터, 컬렉터 사이에 다층 자성 금속 박막이 존재하는 구조를 갖고 있는 스핀트로닉스 소자이다. SU8을 절연층으로 사용한 접촉 패드의 도입, 실리콘 온 인슐레이터의 사용, 그리고 이온빔/습식 복합에칭 공정의 적용으로 수 ${\mu}m$까지 소형화 할 수 있었다. 트랜지스터의 소형화에 따른 특성 변화는 관찰되지 않았으며, 기존의 트랜지스터와 동일한 $240\%$의 자기전류값을 나타내었다.

Keywords