Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.256-256
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- 2004
단결정 $Zn_{l-x}Mg_{x}O$ 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 성장 및 특성평가
Abstract
Keywords