Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ga이 도핑된 단결정 n-ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 성장과 특성분석

  • 심석호 (전남대학교 금속공학과) ;
  • 정상헌 (전남대학교 금속공학과) ;
  • 이병택 (전남대학교 금속공학과)
  • Published : 2004.08.19
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