Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Gas 유량 제어에 의한 CVD Diamond의 특성에 관한 연구

  • 한진영 (밀양대학교 신소재공학과) ;
  • 정기만 (밀양대학교 신소재공학과) ;
  • 김태규 (밀양대학교 신소재공학과) ;
  • 김혜성 (밀양대학교 신소재공학과)
  • Published : 2004.08.19
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Abstract

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