Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.211-211
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- 2004
Hybrid system을 이용한 고경도 WC/Ti 복합상 박막의 형성
- Jeong, U-Seong (CAPST) ;
- Nam, Gyeong-Hun (CAPST) ;
- Lee, Ho-Yeong (CAPST) ;
-
Han, Jeon-Geon
(CAPST)
- 정우성 (성균관대학교 플라즈마응용표면연구센터) ;
- 남경훈 (성균관대학교 플라즈마응용표면연구센터) ;
- 이호영 (성균관대학교 플라즈마응용표면연구센터) ;
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한전건
(성균관대학교 플라즈마응용표면연구센터)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords