Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Diamond-like Carbon 박막의 압축잔류응력에 대한 습도의존성

  • 이영진 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부, 이화여자대학교 물리학과) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 양인상 (이화여자대학교 물리학과)
  • Published : 2004.08.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords