Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Filtered vacuum arc 공정에 있어서 아르곤 가스에 의한 tetrahedral amorphous carbon 박막의 구조 조절

  • 김태영 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부, 서울대학교 재료공학부) ;
  • 이철승 (한국전자부품연구원) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 미래기술연구본부) ;
  • 한준희 (한국표준과학연구원) ;
  • 오규환 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2004.08.19
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