Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2004.08a
/
Pages.139-139
/
2004

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

RF-magnetron sputtering 방법으로 형성된 $RuO_2$ 박막의 전기적 특성 분석

도승우 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
장철영 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
이용현 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부)

Published : 2004.08.19

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords