02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2004.08a
/
Pages.137-137
/
2004
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
MIM Capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른
$ALD-Al_{2}O_3$
박막 증착과 특성 분석
O, Jeong-Ik
;
Do, Seung-U
;
Go, Seong-Yong
;
Jeong, Yeong-Cheol
;
Lee, Yong-Hyeon
오정익
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
도승우
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
고성용
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
정영철
(경주대학교 컴퓨터전자공학부) ;
이용현
(경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
Published : 2004.08.19
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