MIM Capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른 $ALD-Al_{2}O_3$ 박막 증착과 특성 분석

  • 오정익 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 도승우 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 고성용 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 정영철 (경주대학교 컴퓨터전자공학부) ;
  • 이용현 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부)
  • Published : 2004.08.19