Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.122-122
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- 2004
XPS Depth profiling of Ultra Thin Oxynitride Film
- Hong, Tae-Eun ;
- Yeon, Tae-Won ;
- Kim, Jong-Hun ;
- Go, Jung-Gyu ;
- Jeong, Chil-Seong ;
- Park, Yun-Baek ;
- Lee, Sun-Yeong
- 홍태은 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 연태원 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 김종훈 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 고중규 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 정칠성 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 박윤백 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords