Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.121-121
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- 2004
XRR을 이용한 ALD HfxAlyOz 박막의 물성 변화 관찰
- Lee, Tae-Gwon ;
- Hong, Tae-Eun ;
- Lee, Ju-Hui ;
- Park, Yun-Baek ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Hong, Gwon ;
- Gil, Deok-Sin
- 이태권 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 홍태은 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이주희 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 박윤백 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 홍권 (하이닉스 반도체(주) 선행공정 3팀) ;
- 길덕신 (하이닉스 반도체(주) 선행공정 3팀)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords