한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제26회 학술발표회 초록집
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- Pages.170-170
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- 2004
($NH_{3}/N_{2}O/Ar$ Remote Plasma processing 의한 Si(001)의 plasma oxynitridation에 관한 연구)
- 발행 : 2004.02.11