AEM을 이용한 (Ni, Ta)-Silicide 박막의 열적안정성에 관한 연구

  • 이재욱 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 강한별 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 양철웅 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2004.02.11