($SF_{6}$ 유도결합형 플라즈마를 이용한 6H-SiC와 GaN의 식각 End-point 측정에 관한 연구)

• 정승재 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 김동우 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 이효영 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과)

• Jeong, Seung-Jae ;
• Kim, Dong-U ;
• Lee, Hyo-Yeong ;
• Yeom, Geun-Yeong

• 발행 : 2004.02.11

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