상압 플라즈마를 이용한 탄소나노튜브 성장 및 특성에 관한 연구

  • 경세진 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
  • 이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
  • 김찬우 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실)
  • 발행 : 2004.02.11