Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Efficiency of Optical Scanner by Utilizing MEMS Technology

MEMS 기술을 이용한 광 Scanner의 효율 개선

  • 김홍근 (동아대학교전기공학과) ;
  • 박경일 (동아대학교전기공학과) ;
  • 신광호 (경성대학교 멀티미디어공학과) ;
  • 사공건 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학부)
  • Published : 2004.04.24
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Abstract

본 연구에서는 광 스케너 반사경(mirror)의 torsion bar모양을 변화시키고, 반사경 밑 양단에 magnet를 장착시켜 낮은 구동전압에서 동작되게 함으로써 Scanner의 효율을 개선하였다. torsion bar의 모양은 I형에서 S형 타입으로 변화시킴으로써 일반적인 광 스케너의 공진주파수(50Hz)보다 낮은 주파수(35.8Hz)에서 높은 반사각(약$10^{\circ}$)을 얻을 수 있었다. 또한 광 스케너에 일반적으로 사용되는 정전 액튜에이터 대신 자기 액튜에이터를 사용함으로써 공기 중의 먼지나 습기 등 외부요인을 감소시켰다.

Keywords