한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스
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- Pages.5-8
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- 2004
전자빔 증착법에 의한 $TiO_2$ 박막 및 $Al_2O_3/TiO_2$ 박막의 전기적 특성
Electrical Properties of $TiO_2$ and $Al_2O_3/TiO_2$ Thin Films Deposited by E-beam Evapration
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Ryu, Hyun-Wook
(RIERT Chosun Uni.) ;
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Park, Jin-Seong
(Dep. of Advanced Materials Engineering Chosun Uni.)
- 발행 : 2004.04.24
초록
전자빔 증착법 (e-beam evaporation)를 이용하여