Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

MEMS wavelength tunable filter with 69nm tuning range

69nm 가변 범위를 갖는 MEMS 파장가변 필터

  • 김창규 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소) ;
  • 이명래 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소) ;
  • 전치훈 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소) ;
  • 엄용성 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소) ;
  • 김윤태 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소)
  • Published : 2004.02.12
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Abstract

GaAs 기판 위에 성장된 열구동 MEMS형 파장가변 필터 구조를 이용하여 제작 과정이 간단하면서도 구동 전압 1.7 V, 소비전력 0.92 mW만으로 69 nm의 파장가변이 가능한 저전압, 저소비전력 필터 소자를 구현하였다.

Keywords