한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

분광결상 타원계측기를 이용한 박막두계 측정

One dimensional film thickness measurement using spectral imaging ellipsometer

  • 제갈원 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 김현종 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 조용재 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 김수현 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2004.02.12
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드