한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

2파장 타원계의 개발 및 박막 두계 정밀 측정

Development of dual wavelength ellipsometer and accurate determination of thin film thickness

  • 신상균 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상준 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 박병용 ((주)엘립소테크놀러지) ;
  • 김영근 ((주)엘립소테크놀러지)
  • 발행 : 2004.02.12
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