Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Low Temperature Sintering and Dielectric Properties of Low Dielectric Constant/Loss for LTCC Wiring Substrate

저유전율/저손실 LTCC 배선 기판의 저온소결 및 유전특성

  • Choi, Young-Jin (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Park, Jeong-Hyun (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Ko, Won-Jun (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Park, Jae-Hwan (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Park, Jae-Gwan (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Nahm, Sahn (Department of Materials Science and Engineering, Korea University)
  • 최영진 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 박정현 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 고원준 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 박재환 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) ;
  • 박재관 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) ;
  • 남산 (고려대학교 재료공학과)
  • Published : 2004.07.05
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Abstract

알루미노 보로실리케이트계 유리 기본조성 중 알칼리 토류 산화물의 종류 및 함량 변화에 따른 저유전율/저 LTCC 배선 기판의 저온 소성 거동 및 유전 특성을 조사하였다 알칼리 토류 산화물의 종류 및 함량 변화를 통해서 LTCC의 적정 소성온도인 $875^{\circ}C$ 부근을 포함하는 넓은 대역으로 소성수축이 시작되는 온도를 제어할 수 있었으며 유리 프리트와 알루미나 필러의 배합 비율의 변화에 따른 소성거동 및 유전특성의 변화 거동을 조사하였다. 알칼리 토류 산화물 중 유리 조성내의 CaO의 함량이 증가할수록 유리전이점 및 연화점을 증가하는 경향을 보였으며, 알루미나 필러의 첨가량이 증가할수록 소성수축이 시작되는 온도영역은 상향되고 유전율 및 품질계수는 증가하였다. 알칼리 토류 산화물의 조성과 필러인 알루미나의 함량을 제어함으로서 $875^{\circ}C$에서 18% 이상의 선수축율과 유전율 $5.1\sim5.5$ 및 유전손실 0.1% 이하의 우수한 특성을 갖는 저온소결용 LTCC 배선 기판을 얻을 수 있었다.

Keywords