Micro-scale Vibration Phenomena in a Linear Motion Guide Having Rolling Elements

구름 요소를 사용하는 LM 가이드에서의 마이크로스케일 진동현상

  • 이용섭 (서울대학교 기계항공공학부 대학원) ;
  • 김윤영 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 최재석 (연세대학교 기계공학부 대학원) ;
  • 유정훈 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 이동진 (삼성전자 메카트로닉스센터) ;
  • 이석원 (삼성전자 메카트로닉스센터)
  • Published : 2004.05.01

Abstract

To position precision machines accurately, linear motion (LM) guides having rolling elements can be used. For ultra-accurate positioning control of the precision machines, the understanding of the dynamic behavior of the LM guide at the macro and/or micro scales is most critical, but the research on this subject is rare. The objective of the present research is to observe the vibration phenomena of the LM guide. Bails are used as the rolling elements in this work. Several experiments show the nonlinear characteristics of the LM guide such as hysteresis behavior and force-dependent natural frequencies phenomena.

Keywords