Nano Fabrication Process Design을 위한 Design Tool의 개발

전 세계적으로 컴퓨터 및 이동통신의 급속한 발전과 함께 전자, 통신부품을 비롯한 각종 부품들의 초소형화, 고기능화가 요구되고 있다. 이러한 추세에 따라 수 $\mu\textrm{m}$ 의 크기와 수 nm의 정밀도를 갖는 MEMS기술과 NANO 기술에 대한 연구가 활발히 전개되고 있다 MEMS 기술의 경우기존의 생산, 가공 공정과는 완전히 다른 반도체공정을 기반으로 한 리소그래피(lithography) 기술이나 전기도금(electroplating) 등의 기존 기계공학적 생산, 가공 방법을 넘어선 기술을 사용하게 되며 NANO 기술 역시 분자, 원자 단위를 기초로 한 AFM(atomic force microscope) 기술과 임프린팅(nanoimprinting) 기술 등의 새로운 기술을 접목시키는 생산 방법을 사용한다.(중략)