Ramp loading scratch 방법에 의한 실리콘 기반 박막들의 파손 특성에 관한 연구

마이크로 기술을 대변하는 Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS)와 반도체, 각종 micro-sensor 및 actuator 등은 실리콘 위에 박막 코팅한 재료를 주로 사용하고 있다. 따라서 1 Um 이하의 박막코팅에 의해 원하는 성능을 얻으려는 시도가 널리 진행되고 있다 Hard Disk Drive (HDD)의 Head-Disk Interface (HDI)와 MEMS 접촉면에서는 발생하는 마찰 및 마멸에 대한 문제 등은 중요한 고려대상이다. 특히 코팅 층의 표면 파손 현상은 코팅 층의 파손 특성과 코팅 층과 기판 사이의 결합상태가 큰 영향을 미친다.(중략)